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應(yīng)用領(lǐng)域：
適用于中等尺寸零部件和對載物臺上的多個工件執(zhí)行序列測量
Type1~3 ： 中型尺寸PCB、沖壓鈑金件等
Type4/TZ ： 300mm晶圓、300mm探針卡等
TypeA ： 中型尺寸機(jī)械零件、塑料模制件等
類型1、2和3-標(biāo)準(zhǔn)倍率變焦頭
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30X
類型1、2和3使用尼康15X變焦光學(xué)系統(tǒng)，具有長工作距離，寬視場（FOV）以及主達(dá)0.35的數(shù)值孔徑。所有標(biāo)準(zhǔn)變焦頭都配備LED落射、透射和內(nèi)部/外部環(huán)形照明器，提供頂部照明光、底部照明光以及具有三種不同斜角照明光，確保清晰呈現(xiàn)模糊的邊緣。
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類型4和TZ-高倍率變焦頭
Type4 4X~60X TypeTZ1X~X7.5/16X~120X
類型4和TZ使用尼康15X和120X變焦光學(xué)系統(tǒng)，具有更高的倍率精度和更高的數(shù)值孔么（0.46)。類型4配有LED落射、透射和環(huán)形照明器，提供頂部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有適用于主物鏡鏡頭（16~120x)的落射、透射和暗場照明器，以及適用于輔助物鏡鏡頭（1~7.5X）的LED落射和暗場照明器。
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類型A-寬視場變焦頭
TypeA0.35X~3.5X
類型使用尼康10X變焦光學(xué)系統(tǒng)，具有低部率精度范圍內(nèi)最寬的視場，最長的工作距離和最高的數(shù)值孔么（0.11），而且它配備了LED落射、透射和環(huán)形照明器，提供頂部和斜角照明光。
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8段LED內(nèi)外環(huán)形照明器
Type1~3
類型1、2和3配有8段LED內(nèi)外環(huán)形照明器，能夠提供最佳照明條件，清晰呈現(xiàn)模糊的邊緣。您可以從8個照明器段的任意方向選反37度、55度、和75度這三個斜角之一，還可以組合使用任意照明器段以及使用任意光強(qiáng)度。
改善不確定度
尼康全新線性編碼器ModuRay配有非接觸式讀取頭，有助于提高確定度。
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規(guī)格
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型號 |
VMZ-R4540 |
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XYZ行程 |
450X400X200 |
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最小讀取單位 |
0.1微米 |
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被測物最大重量 |
40kg |
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測量精度 EUX、MPE EUY、MPE |
1.2+4L/1000um |
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EUXY、MPE |
2+4L/1000um |
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Z軸測量精度（激光自動對焦） |
1.2+5L/1000um |
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攝像頭 |
黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD（選購件）※ |
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物鏡鏡頭的工作距離 |
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類型1、2和3 |
37度斜角時為50mm、55度斜角時為36mm、78度斜角時為10mm |
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類型4 |
30mm |
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類型TZ |
使用主物鏡鏡頭時為11mm，使用左側(cè)物鏡鏡頭時為32mm |
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類型A |
未使用激光AF時為73.5mm，使用激光AF時為63mm |
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倍率和視場 |
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類型1 |
0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm |
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類型2 |
1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm |
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類型3 |
2~30X /2.33X1.75~0.155X0.117mm |
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類型4 |
4~60X /1.165X0.875~0.07~0.068 |
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類型TZ |
1~120X /4.67X3.5~0.039X0.029mm |
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類型A |
0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm |
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自動對焦 |
類型1、2、3、4和TZ配備TTL激光AF和圖像AF |
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照明器 |
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類型1、2和3 |
LED落射和透射照明器，8段LED內(nèi)外環(huán)型照明器（內(nèi)部環(huán)形照明器呈37度斜角，外部環(huán)形照明器呈55度和78度斜角） |
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類型A |
LED落射和透射照明器，呈18度斜角的8段LED環(huán)形照明器 |
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電源 |
AC 100-240V±10% 50或60HZ |
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使用電流 |
5A-2.5A |
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主機(jī)尺寸和工作臺 |
1000X1340X1820mm/約500kg |
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控制器尺寸 |
190X450X440mm /約15KG |
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占地(含工作臺上的PC) |
2300X1700mm |
