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XENOS采用了機(jī)械設(shè)計(jì)理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測量機(jī)不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點(diǎn)：高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的極高定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得測量精度。于測量曲面時更顯見：測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合，即可實(shí)現(xiàn)的精準(zhǔn)性。
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的中央驅(qū)動技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力。作為控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得的測量精度及運(yùn)動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機(jī)器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。
XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中，蔡司在測量精度和測量重復(fù)度方面對該探頭進(jìn)行了優(yōu)化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達(dá)800毫米的測針以及重量高達(dá)500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。
強(qiáng)化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。
通過電子設(shè)計(jì)，移動線纜對精度影響顯著降低。計(jì)算機(jī)輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。
