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- 顯微鏡，精密檢測儀器
探針卡
探針卡是電子測試系統(tǒng)與半導(dǎo)體晶片之間的機械接口。先進的探針卡可以僅接觸一次就完成一個12“晶圓的測試。卡上的上千探針需要在三軸方向上( X,Y和Z)同步運動并以高精密度的微小誤差和晶片接觸。由于這一要求，探針尖端的位置和幾何形狀對探針卡的測試功能是否正常至關(guān)重要。針對這些復(fù)雜的測量，一個穩(wěn)定和高度精準的平臺是非常有必要的。
系統(tǒng)挑戰(zhàn)
傳統(tǒng)的檢驗方法受到以下缺點的限制：
?需要在高倍率下才能對小尺寸探針進行測量
?探針尖端的微小位移會對測量造成困難
?探針位置的隨機性分布使得編寫測量程序變得困難和耗時
?從程序編寫到最終完成檢測，費時費力
尼康的解決方案NEXIVVMZ-R3020 視覺系統(tǒng)與自動測量軟件
?高鋼性鑄鐵結(jié)構(gòu)于三軸方向上安置了0.01um的高解析度光柵尺
?對高精密性零件測量，倍率選項從1080倍到4320倍皆可
?"自動位置尋找"功能可以適應(yīng)針尖位移所造成的不良影響
?影像自動對焦與同軸激光功能，用于精確的Z-高度測量.
?從"CAD導(dǎo)入程序"功能，可以減少程序教導(dǎo)時間從幾小時縮短到幾分鐘
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